中日半导体制造技术用语词典(中国半导体产业的进步与挑战：中日之间的竞争与合作)

摘要：半导体是影响国家科技实力和安全的关键因素，中日两国在这一领域有着密切的联系和互动。本文从中日半导体产业的发展历程和现状入手，分析了中国在半导体领域取得的成就和存在的问题，以及日本在半导体领域的优势和挑战，探讨了中日两国在半导体领域的竞争与合作的可能性和前景，以及中国应该如何推动半导体产业的创新和发展，实现半导体技术的自主可控。

日本经济产业省于5月23日公布了外汇法法令修正案，将先进芯片制造设备等23个品类追加列入出口管理的管制对象，上述修正案在经过2个月的公告期后，将在7月23日实行。这一举动被认为是跟随美国的脚步，对中国的半导体产业施加压力。中国商务部对此表示坚决反对，并敦促日本立即撤销有关措施。

日本的出口限制涉及哪些设备？

据日本经济产业省称，该计划涉及清洗、成膜、热处理、曝光、蚀刻、检查等23个种类，包括极紫外（EUV）相关产品的制造设备和三维堆叠存储元件的蚀刻设备等。就计算用逻辑半导体的性能而言，它是制造电路线宽10至14纳米或更小的尖端产品的必备设备。根据日本《外汇法》，对可用于军事目的的武器等民用物品的出口进行管制，出口需要事先获得经济产业省的许可。虽然中国和其他特定国家和地区未被明确列为受监管对象，但新增的23个项目将需要单独许可证，不包括友好国家等42个国家和地区的许可证，这给中国和其他国家的出口带来了实际困难。日本希望阻止先进技术被用于军事目的，并非针对具体的国家采取这些措施。但外界普遍认为，这是日本为配合美国遏制中国制造先进芯片能力的举措。去年10月7日，美国商务部对向中国出口美国芯片制造工具实施了最全面的出口限制，以延缓中国科技与军事的进展。然而，如果没有日本和荷兰两大芯片设备主要供应国的合作，美国单独管制出口的措施将难以奏效。

日本的出口限制对中国芯片产业有何影响？

中国是全球最大的半导体市场，也是全球最大的半导体进口国。根据中国海关总署数据，2020年中国半导体进口额达到3500亿美元，同比增长15.8%。其中，从日本进口半导体及相关设备约为200亿美元，占比约为5.7%。从产品类型来看，中国从日本进口主要包括存储器、逻辑芯片、模拟芯片、光电子器件、传感器等。其中存储器和逻辑芯片是中国半导体产业发展中最为薄弱的环节，也是最依赖进口的环节。从设备类型来看，中国从日本进口主要包括光刻机、蚀刻机、检测机、清洗机等。其中光刻机是半导体制造过程中最核心也最昂贵的设备，目前全球只有荷兰阿斯麦（ASML）、日本尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家公司能够提供。因此，日本对23种芯片制造设备实施出口限制，无疑会给中国半导体产业带来一定程度的冲击。一方面，可能影响中国芯片厂商对现有设备的维护和更新；另一方面，可能影响中国芯片厂商对新技术和新工艺的研发和应用。尤其是在极紫外光刻技术方面，由于荷兰已经同意加入美国限制向中国出口EUV光刻机的行列，如果日本也跟进，则意味着中国将无法从外部获取这种先进设备。

中国如何应对日本的出口限制？

针对日本宣布将限制23种芯片制造设备出口一事，中国商务部发言人在5月23日例行新闻发布会上表示，“中方坚决反对任何国家滥用‘国家安全’概念以及‘出口管制’手段打压特定国家企业。”他还表示，“中方敦促日方立即撤销有关措施，并恢复正常贸易秩序。”除了政治上表达反对态度之外，中国还可以从以下几个方面应对日本的出口限制：

加快自主研发和创新。这是解决半导体产业瓶颈问题的根本之道。近年来，在政府和社会各界的支持下，中国半导体产业已经取得了一定程度的进步和突破。例如，在存储器领域，长江存储已经实现了64层3DNAND闪存量产，并计划在今年推出128层产品；在逻辑芯片领域，中芯国际已经实现了14纳米工艺量产，并计划在今年推出12纳米工艺；在模拟芯片领域，华润微电子已经实现了55纳米工艺量产，并计划在今年推出28纳米工艺；在光电子器件领域，华为海思已经实现了7纳米工艺量产，并计划在今年推出5纳米工艺；在传感器领域，华为海思已经实现了1.4微米像素尺寸量产，并计划在今年推出1微米像素尺寸。此外，在半导体设备领域，也有一些企业正在努力突破技术壁垒。例如，在光刻机领域，上海微电子装备有限公司已经实现了90纳米i-line光刻机量产，并计划在今年推出65纳米i-line光刻机；在蚀刻机领域，南京南方科技股份有限公司已经实现了28纳米工艺蚀刻机量产，并计划在今年推出14纳米工艺蚀刻机；寻求多元化的合作伙伴。这是缓解半导体产业供应链风险的有效途径。在全球半导体产业链中，中国不仅与日本有着紧密的合作关系，还与欧洲、韩国、台湾等地区有着广泛的交流和互动。例如，在存储器领域，中国与韩国三星、SK海力士、台湾台积电等企业有着长期的合作关系，在逻辑芯片领域，中国与英特尔、高通、英伟达等企业有着深入的合作关系，在模拟芯片领域，中国与德国英飞凌、美国德州仪器等企业有着密切的合作关系，在光电子器件领域，中国与荷兰飞利浦、美国奥斯兰姆等企业有着良好的合作关系，在传感器领域，中国与德国博世、日本村田制作所等企业有着稳定的合作关系。因此，中国可以通过加强与这些合作伙伴的沟通和协调，寻求更多的技术引进和市场开拓，以降低对日本设备的依赖程度提高半导体产业自给率和自主创新能力。这是实现半导体产业长远发展的必然要求。根据《中国制造2025》和《集成电路产业“十三五”发展规划建议》等文件，中国提出了到2025年实现集成电路设计、制造、封测自给率达到40%以上，到2030年实现集成电路设计、制造、封测自给率达到70%以上的目标。为了实现这一目标，中国需要加大对半导体产业的投入和支持，加强人才培养和引进，加快技术研发和创新，加强知识产权保护和应用，加强标准制定和推广，加强产学研用合作和交流，形成完整的半导体产业生态系统日本的出口限制是否会影响中日两国的经贸关系？

日本是中国第二大贸易伙伴，也是中国第三大外资来源国。两国在经贸领域有着深厚的合作基础和广泛的共同利益。日本对23种芯片制造设备实施出口限制，无疑会对中日两国的经贸关系造成一定程度的冲击和损害。一方面，可能影响中日两国在半导体产业链上的互补性和协同性；另一方面，可能引发中方对日方其他产品和服务采取反制措施。然而，在当前全球经济复苏乏力、贸易保护主义抬头、新冠疫情仍在蔓延的背景下，中日两国都需要相互支持和合作，共同应对各种挑战和风险。因此，日本应该慎重考虑其出口限制措施对中日两国经贸关系及地区稳定的影响，并尽快撤销有关措施，并恢复正常贸易秩序。同时，中日两国应该通过友好对话和协商，妥善解决分歧和争端，并积极推进双边及多边自由贸易协定的落实和深化，在互利共赢的基础上，推动中日两国经贸关系取得更大发展

结语

日本对23种芯片制造设备实施出口限制，是一种短视而错误的做法，不仅损害了中国半导体产业的正当权益，也损害了日本自身在全球半导体市场的地位和声誉。中国半导体产业虽然面临一些困难和挑战，但也拥有巨大的市场潜力和发展机遇。只要坚持自主创新、开放合作、共赢发展的理念，就一定能够实现半导体产业高质量发展，并为全球科技进步和人类福祉做出更大贡献。