离子源制造技术，离子源制造技术有哪些

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于离子源制造技术的问题，于是小编就整理了1个相关介绍离子源制造技术的解答，让我们一起看看吧。

被“卡脖子”的离子注入机实现国产化，这种装备是干什么的？

在硅片上要做一个三极管（或场效应管），要分好几层，每一层先要做掩膜（即涂光敏光刻胶，再用光刻机对需要的部分曝光），然后通过化学手段去除曝光部分，再利用离子注入机对该部分进行离子渗透参杂，使之成为半导体（P型或者N型），以此类推，最后形成若干层而构成一个三极管，由众多三极管连接组成各种触发器，门电路，计数器，存储器等，放大器，最后成为专用的集成电路产品。

被“卡脖子”的离子注入机实现国产化，这种装备是干什么的？

离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用作半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。

它是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。

3月17日从中国电子科技集团有限公司获悉，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，实现中国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展，将有效缓解中国芯片制造领域断链、短链难题。可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

到此，以上就是小编对于离子源制造技术的问题就介绍到这了，希望介绍关于离子源制造技术的1点解答对大家有用。