中国有技术制造光刻机吗(荷兰企业推出5nm新工艺，并加大对华投资中国光刻机迎来新突破)

本文为「金十数据」原创文章，未经许可，禁止转载，违者必究。

在芯片产业链中，生产环节至关重要，其中光刻机是核心设备，被誉为半导体行业"皇冠上的明珠"，光是组成的零配件就超过5万个。由于制造难度高、生产流程复杂，顶尖的光刻机更是被荷兰阿斯麦（ASML）等个别企业所垄断。中国企业要想生产高精度的芯片，也没有其他选择的余地。最近，在原有高成就的基础上，ASML又取得了新的突破。

1、新技术将提高600%产能，ASML承诺对华加大投资

由于生产要求不断增加，芯片的制程工艺水平也在提高，目前芯片制程工艺可以达到5nm的最高水平，但与此同时，芯片生产复杂度的增加也导致芯片生产的错误率提高。为了解决这个难题，阿斯麦成功研发出了相应的检测机。

据《科创板日报》报道，最近ASML在官网表示，攻克了第一代HMI多光束检测机HMIeScan1000的测试。这是一套基于HMI多光束技术的检测系统，用于验证5nm及更先进工艺生产出来的晶圆质量，有利于减少晶圆质量分析所用的时间。有业内预计，该技术将使5nm工艺产能大涨600%。

不过遗憾的是，中企尚且还用不到该技术以及背后的产品。全球最先进的、7nm以下制程所需的EUV光刻机是由ASML独家供应，单台售价也非常高昂，约合10亿元人民币一台，但由于外部因素的影响，ASML还无法对中企出售最先进的光刻机。

尽管无法对华售卖最先进设备，但由于中国集成电路行业规模庞大，该企业仍然表示，继续重视中国市场，愿意加大服务力度。据科技日报5月14日报道，江苏省无锡市与ASML签署了战略合作协议，该企业承诺将在原有基础上对资源进行整合，扩建位于无锡的光刻设备技术服务基地。

据悉，位于无锡的光刻设备技术服务基地，由ASML在2006年成立，现今是中国规模最大的光刻设备技术服务基地，能够最大程度为芯片制造企业提供售后服务。

2、中芯国际营收大涨35%，中国光刻机取得新突破

此次ASML扩张无锡技术基地，也与中国急速扩张的半导体业务规模有关，比如重点企业中芯国际的业绩表现喜人。据中芯国际的财报显示，在全球电子行业低迷之际，企业第一季度营收实现9.05亿美元，同比增长35%。

但要看到的是，尽管ASML想赚取中国市场的利润，但不意味着高端的光刻机就会卖给中企，要想获得尖端的技术和设备，关键还得靠自己独立研发。

不过，生产高端光刻机的目标并非遥不可及。中国也有自己的光刻机巨头——上海微电子技术。据企查查数据显示，截至2018年12月，上海微电子技术服务国内80%的光刻机市场，在全球光刻机市场也能挤进前四的位置。

而且，根据市场6月1日最新消息，上海微电子技术再次突破封锁，成功研发出22nm的光刻机。在国家加大扶持下，假以时日，相信中国的光刻机能够缩小与西方的差距水平。

值得注意的是，作为芯片产业的霸主，反倒是美国开始在高科技领域开始"畏首畏尾"——担忧芯片供应链可能被"断供"。近来，美国不断强调芯片供应链过于依赖他国带来的脆弱性，要求企业将产业链布局到美国本土。在这一计划之下，台积电就被要求前往美国投资设厂。由此可见，美国也知道当前的技术垄断地位并非稳固，需要采取手段加以维护。

【精彩内容不够看，更多猛料等你赞！点击下方“了解更多”，轻松get最新最快最有趣的追踪报道】