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芯片制造技术节点(揭开芯片工艺的秘密)

发布时间:2024-05-13 13:30:58 制造技术 911次 作者:装备制造资讯网

如上图所示,晶体管数量保持不变的情况下,下一代新工艺的芯片面积是上一代的一半。

那么X和Y什么关系。

芯片制造技术节点(揭开芯片工艺的秘密)

如果我们按照正方形来计算的话?

那么新工艺大约是老工艺晶体管尺寸的0.7倍。

也就是晶体管会缩小0.7倍。

那根据摩尔定律,我们利用初中数学知识,就能算出每一代工艺的进步,从800nm开始(这个80586的工艺节点)。

而芯片工艺的发展也印证了这一点:

从0.8μm、0.5μm、0.35μm、0.25μm、0.18μm、0.13μm、90nm、65nm、45nm、32nm、22nm、16nm、10nm、7nm,5nm。

实际的工艺节点,符合了这个要求。

摩尔定律和现在芯片制程完全吻合。

神奇!

可能有些工艺制程知识的同学会说:

有点不对劲,

这个图里,制程很火的40nm,28nm,14nm跑哪里去了。

对,这就涉及到一个芯片制造厂常用的手段。

shrink。

我们都知道,一个工艺节点研发成功后,其研发成本是很高的。

如果可以在这个工艺节点上持续优化,面积,功耗等等。

也是一种最大化利用原有投入的方式。

就像intel就在14nm上做的一样。

14nm+++

持续优化。

而我们今天讲的shrink,也是一种优化。

它本质上是利用光照(MASK)等比例缩放后。晶体管尺寸缩小一点,芯片仍然能够正常工作,从而减少芯片面积,降低成本。

那么shrink的比例是多少?

Shrink一般可以将晶体管的尺寸缩小0.9倍。

大约每个边长缩放为0.9;整体面积缩小0.81;

这个过程又称为,芯片收缩(dieshrink)。

然而,按比例缩小可能引入新的问题,例如漏电流增大,但是通过工艺参数可以来调节漏电,shrink在不改变工艺特性的基础上,修修补补,也能挖掘这个工艺节点的潜力。

这些shrink后的工艺节点,也被人称为半节点。

例如:

40nm是45nmshrink后的半节点。

28nm是32nmshrink后的半节点。

20nm是22nmshrink后的半节点。

14nm也可以看作16nmshrink后的半节点。

把前面的工艺,乘以0.9就可以了。

DIEshrink是芯片制造厂家来做的,和芯片设计公司没有关系。

工程师设计完成的版图都是preshrink的,而到了厂家生产的时候,直接进行shrink,生成的die的面积比版本等比例缩小。

所以我们现在芯片设计工程师,做40nm或者28nm等半节点工艺时,都有一个shrink的流程。

会发现,芯片的版图比实际的DIE的面积要大。

如果我们计算最后的DIE(芯片)面积,实际上要算shrink之后的,而不是版图的面积。

EDA工具标注的都是shrink前(preshrink)的面积。

那就是设计公司给了芯片制造厂一张10X10的设计图纸,而芯片厂生产的尺寸却是9x9。

具体DIE,WAFER等定义,不熟悉的同学,可以参见老哥原来写的的《人类高质量芯片工程师的那些“黑话”》

这些优化后的,40nm,28nm等等,成为了更成熟和长寿的工艺。

而原有的45nm,32nm等,与优化后的40nm,28nm相比,不再具有优势,厂家不再推这些工艺工艺。

事实上,业界通常把45nm/40nm,32nm/28nm,22nm/20nm,16nm/14nm这些工艺节点,看作同一个工艺节点,是一代,只是厂家通过shrink这种手段,进行的优化。

加上shrink以后,我们看到目前的28nm,14nm,10nm,7nm,5nm都可以用摩尔定律上一节的初中数学知识算出来。

严丝合缝,理论和实际吻合的很好。

戈登.摩尔,真神人也!

但是,事实果真如此吗?

这些数字里面隐藏着一个极大的隐情。

我们来看一张图:

大约从20世纪60年代到90年代末,节点的命名是基于它们的栅极长度命名的。IEEE的此图表显示了以下关系。

栅极长度(gatelength)和半节距(芯片上两个相同特征之间的距离的一半)匹配工艺节点名称,这个其实0.5um,0.35um,0.25um的一些命名的原因。

但是在28nm以下,由于采用finfet这些新的技术,这些和实际的节点和栅极长度,以及半节距(half-pitch)就匹配不上了

引用文献:

1:TechnologyNode-WikiChip

2:HowAreProcessNodesDefined?-ExtremeTech

3:TSMC’s7nm,5nm,and3nm“arejustnumbers…itdoesn’tmatterwhatthenumberis”|PCGamesN

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