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半导体制造技术洁净度高吗(半导体行业空气洁净度揭秘:从10000级到1级)

发布时间:2024-07-29 21:13:30 制造技术 500次 作者:装备制造资讯网

半导体行业对于空气洁净度有着极高的要求,这是因为微小的颗粒和污染物都可能对半导体器件的性能产生重大影响。我国的半导体产业正在飞速发展,对于空气洁净度的控制也日益严格。今天,本文就来揭秘半导体行业空气洁净度的等级划分:

空气洁净度

半导体制造技术洁净度高吗(半导体行业空气洁净度揭秘:从10000级到1级)

半导体材料的无尘车间洁净度标准主要分为多个等级,从高到低依次为:1级,10级,100级,1000级,10000级。其中,1级洁净度标准是最高的,要求非常严格,而10000级洁净度标准相对宽松一些。

1级:指空气中粒子浓度低于每立方米空气中大于等于0.5微米的颗粒物不超过1个。1级洁净度是半导体行业中对空气洁净度要求最严格的,通常应用于实验室、研发机构等高端领域。

10级:指每立方米空气中直径大于等于0.5微米的尘埃粒子数量少于10个。这个级别的洁净度通常用于半导体制造过程中的超净生产区域,如芯片制造、纳米技术等。

100级:指空气中每立方米空气中粒度等于或高于0.5μm的颗粒总数不会超过100个。此外,对于微生物的要求也非常严格,要求完全无微生物存在。

1000级:指空气中粒子浓度低于每立方米空气中大于等于0.5微米的颗粒物不超过1,000个。相较于万级洁净度,千级洁净度对空气中的颗粒物控制更为严格。此类洁净度通常应用于半导体工厂的关键生产区域,如晶圆制造、封装测试等。

10000级:指空气中大于等于0.5微米的颗粒物浓度要求每立方米不能超过10000个。万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。

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