天津津南机械制造(【拥抱智能新时代】国内唯一“津南制造”高端装备亮相世界智能大会)

2019年5月16日至19日，以“智能新时代：演进、方略与机遇”为主题的第三届世界智能大会在天津梅江会展中心成功举办，作为国内唯一一家具备生产和研发12英寸商业化高端化学机械抛光设备的企业，天津华海清科机电科技有限公司在津南展台惊艳亮相，展示了津南区高端制造企业的风采。

名校团队赋能科技创新

精工匠心打造大国重器

天津华海清科机电科技有限公司坐落在天津海河高端装备研发基地，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。华海清科主要从事化学机械抛光设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。

华海清科是天津市唯一承担国家科技重大专项02专项任务的高技术企业，研发出国内首台12英寸晶圆抛光设备，打破美国和日本的垄断，在所有国产集成电路制造装备企业中，华海清科实现最快上线，是集成电路制造装备领域由高校完成整机装备技术产业化成功的唯一案例。

这些专业名词听起来复杂，其实与我们的生活息息相关，你我身边就有“津南制造”。我们使用的手机、电脑、电视机等电路板上应用的芯片，就是由华海清科生产的化学机械抛光设备参与制造的。芯片的制造是在晶圆上不停地进行层次的堆叠完成的，每一层堆叠都需要通过抛光设备把晶圆进行抛光、抛平，然后再堆叠下一层。化学机械抛光通过化学和机械的协同作用，可以实现纳米级的材料去除与表面洁净，避免了单一的机械或化学抛光造成的表面损伤、平整度和一致性差等问题，是唯一兼顾局部和全局平坦化的纳米表面加工技术。

国内唯一！

津南高端装备亮相世界智能大会

华海清科依靠国际化的经营理念和先进的工艺实力，提供了先进的CMP设备及工艺解决方案。早在2015年，华海清科就完成了国内12英寸商用化学机械抛光机型Universal-300的研发、装配和测试，并在次年开发出第二代机型Universal-300Plus，完成了硅、氧化硅、钨、铜等CMP关健制程的验证。2018年，华海清科研制出的第三代机型Universal-300Dual，继承了此前产品的成熟技术，配有四个抛光盘和双套清洗，集成多种重点检测技术，可以满足各种工艺需求。

华海清科是国内唯一一家具备生产和研发12英寸商业化高端化学机械抛光设备的企业，是津南高端装备制造领域的高技术企业，也是津南绿色高质量发展的名片。本次世界智能大会，华海清科展出的是Universal-300Plus新型12英寸化学机械抛光设备。这款产品在2019世界半导体大会上，被评选为2018年度中国半导体创新产品。

华海清科产品各项性能指标满足客户生产需求，各项重要指标不亚于国外同类产品，部分关键性能指标优于国外同类产品，具有较大的技术优势和成本优势。在国家加大对集成电路产业政策扶持力度的背景下，华海清科将以国家02专项为依托，加快推进CMP国产化进程，向世界展示“津南制造”的风采。