机械制造外观专利(江丰电子申请晶圆托盘机械加工方法专利，能够使得晶圆托盘在加工后符合图纸的尺寸需求)

金融界2023年11月21日消息，据国家知识产权局公告，宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种晶圆托盘机械加工方法“，公开号CN117086334A，申请日期为2023年7月。

专利摘要显示，本发明涉及托盘加工技术领域，具体公开了一种晶圆托盘机械加工方法，包括以下步骤：对托盘原坯进行粗加工；通过压板和底板分别抵接晶圆托盘的两个侧端面，再对晶圆托盘的外环面进行轴对中打表找正，并对轴对中打表找正后的外环面进行车外圆精加工；对晶圆托盘的两个侧端面分别进行半精加工；对晶圆托盘的外环面进行切削形成凸起部和凹陷部，对晶圆托盘的内环面进行切削形成环形槽；对晶圆托盘的凸起部进行切削形成环形斜面。本发明在加工过程中，先确保晶圆托盘的圆度、平面度、同心度和平行度满足需求后，再对晶圆托盘进行其它加工，以此能够使得晶圆托盘在加工后符合图纸的尺寸需求，进而降低制造成本。

本文源自金融界